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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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工作原理

涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以

抽气过程非常。

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NT340等